清空記錄
歷史記錄
取消
清空記錄
歷史記錄
真空傳輸閥門具有高頻率啟閉、低漏率和高耐壓等特點，用于半導體生產系統大氣側的載荷鎖定和工藝室隔離等領域，是真空傳輸系統中的關鍵組件。
低成本
簡單安裝
密封性好
在線客服
客服一
產品詳情用于半導體生產系統大氣側的載荷鎖定和工藝室隔離
主要特點
開口尺寸：46×236mm to 50×336mm(1.81”×9.29” to 1.97” ×13.23”)
執行器：氣動 雙作用帶位置指示器
閥門材料：鋁
密封方式：L-型密封
技術數據
泄漏率
閥板：空白或鍍鎳
–帶FKM密封
–帶有FFKM密封
–帶VMQ密封
閥板：硬陽極氧化
–帶有FKM或FFKM密封
< 1·10-9 mbar ls-1
< 1·10-7 mbar ls-1
< 1·10-6 mbar ls-1
< 1·10-5 mbar ls-1
真空側壓力范圍
1·10-9 mbar to 1.1 bar (abs)
閘門上的差壓
關閉方向
開啟方向
1bar
≤0.1bar
開閥差壓
≤0.1 bar
循環至首次保養維護
≥3 million
溫度①
門的運行溫度
配置
閥板
執行器
Gate
位置指示器
電磁閥
≤ 50 °C
鋁
標準
有
≤ 80 °C
鋁
標準
沒有
材料
鋁閥板
不銹鋼閥板
EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315)
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
Seal
閥板
FKM (Viton?)
安裝位置
執行器上/下
脈沖電磁閥
24 VDC, 2.5 W (others on request)
位置指示器：接觸額定值
電壓
電流
功率
連接
≤ 50 VAC / DC
≤ 0.5 A
max. 10 W
9 pin subminiature D
壓縮空氣連接
帶電磁閥
沒有電磁閥
閥門CDA流量率
quick connector O. D. 4 mm, tube length ≥ 1 m
R?" internal thread, tube length ≥ 1 m
min. 600 SLPM
DN(D1×D)
D1開口高度
D開口高度
壓縮空氣
min.-max.
Over pressure
氣動執行器體積
Closing or opening time
Weight
Aluminum Valve
Stainless steel valve
mm
inch
bar
psi
l
ft3
s
kg
lbs
kg
lbs
46×236
1.81×9.59
4-7
58-102
0.25
0.007
＜1
5
11
6
13.20
50×336
1.97×13.23
4-7
58-102
0.25
0.007
＜1
5.20
4.30
6.4
14.10
①最大值：根據操作條件和密封材料
選項，定制化解決方案
c Electrical connection f Position indicator ■ 客戶零件
執行器
–閥門驅動器蓋套，用于覆蓋門壓力桿的活塞和氣缸
–其他密封材料，例如FFKM、VMQ、FVMQ閥門密封
–在閘門中使用O型圈密封（直徑），而不是硫化密封（標準）
–閥板：硬陽極氧化或鍍鎳
尺寸
D1 × D mm
inch
46 × 236
1.81 × 9.29
50 × 336
1.97 × 13.23
56 × 496
2.20 × 19.53
D mm
inch
236
9.29
336
13.23
496
19.53
D1 mm inch
46
1.81
50
1.97
56
2.20
G mm
inch
180
7.09
180
7.09
180
7.09
H mm
inch
50
1.97
50
1.97
50
1.97
M mm
inch
124
4.88
124
4.88
124
4.88
N mm
inch
132
5.20
132
5.20
132
5.20
Q mm
inch
60
2.36
60
2.36
64
2.52
Q1 mm inch
250.30
9.85
350
13.78
510
20.08
產品詳情用于半導體生產系統大氣側的載荷鎖定和工藝室隔離
主要特點
開口尺寸：46×236mm to 50×336mm(1.81”×9.29” to 1.97” ×13.23”)
執行器：氣動 雙作用帶位置指示器
閥門材料：鋁
密封方式：L-型密封
技術數據
泄漏率
閥板：空白或鍍鎳
–帶FKM密封
–帶有FFKM密封
–帶VMQ密封
閥板：硬陽極氧化
–帶有FKM或FFKM密封
< 1·10-9 mbar ls-1
< 1·10-7 mbar ls-1
< 1·10-6 mbar ls-1
< 1·10-5 mbar ls-1
真空側壓力范圍
1·10-9 mbar to 1.1 bar (abs)
閘門上的差壓
關閉方向
開啟方向
1bar
≤0.1bar
開閥差壓
≤0.1 bar
循環至首次保養維護
≥3 million
溫度①
門的運行溫度
配置
閥板
執行器
Gate
位置指示器
電磁閥
≤ 50 °C
鋁
標準
有
≤ 80 °C
鋁
標準
沒有
材料
鋁閥板
不銹鋼閥板
EN AW-5083 (3.3547), EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315)
AISI 316L (1.4404, 1.4435)
Seal
閥板
FKM (Viton?)
安裝位置
執行器上/下
脈沖電磁閥
24 VDC, 2.5 W (others on request)
位置指示器：接觸額定值
電壓
電流
功率
連接
≤ 50 VAC / DC
≤ 0.5 A
max. 10 W
9 pin subminiature D
壓縮空氣連接
帶電磁閥
沒有電磁閥
閥門CDA流量率
quick connector O. D. 4 mm, tube length ≥ 1 m
R?" internal thread, tube length ≥ 1 m
min. 600 SLPM
DN(D1×D)
D1開口高度
D開口高度
壓縮空氣
min.-max.
Over pressure
氣動執行器體積
Closing or opening time
Weight
Aluminum Valve
Stainless steel valve
mm
inch
bar
psi
l
ft3
s
kg
lbs
kg
lbs
46×236
1.81×9.59
4-7
58-102
0.25
0.007
＜1
5
11
6
13.20
50×336
1.97×13.23
4-7
58-102
0.25
0.007
＜1
5.20
4.30
6.4
14.10
①最大值：根據操作條件和密封材料
選項，定制化解決方案
c Electrical connection f Position indicator ■ 客戶零件
執行器
–閥門驅動器蓋套，用于覆蓋門壓力桿的活塞和氣缸
–其他密封材料，例如FFKM、VMQ、FVMQ閥門密封
–在閘門中使用O型圈密封（直徑），而不是硫化密封（標準）
–閥板：硬陽極氧化或鍍鎳
尺寸
D1 × D mm
inch
46 × 236
1.81 × 9.29
50 × 336
1.97 × 13.23
56 × 496
2.20 × 19.53
D mm
inch
236
9.29
336
13.23
496
19.53
D1 mm inch
46
1.81
50
1.97
56
2.20
G mm
inch
180
7.09
180
7.09
180
7.09
H mm
inch
50
1.97
50
1.97
50
1.97
M mm
inch
124
4.88
124
4.88
124
4.88
N mm
inch
132
5.20
132
5.20
132
5.20
Q mm
inch
60
2.36
60
2.36
64
2.52
Q1 mm inch
250.30
9.85
350
13.78
510
20.08
相關產品
瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~
滬公網安備31011602002360號
滬ICP備2022026974號-1