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科哲(上海)閥門有限公司
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GF30低壓波紋管閥(手動)

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科哲GF30手動低壓波紋管閥,閥體采用 SUS316L超低碳不銹鋼,符合SEMI F-20UHP(超高純)標(biāo)準(zhǔn),確保無金屬離子析出,適用于半導(dǎo)體、生物制藥等對純度要求極高的場景。
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產(chǎn)品詳情

手動低壓波紋管閥

型號GF30低壓波紋管閥GFQ30 低壓波紋管閥
工作壓力
0~25.8bar(手動)0~17.2bar( 氣動 )
驅(qū)動壓力60~100psig(4.1~6.9bar)N.C.
90~100psig(6.2~6.9bar)N.C.
規(guī)格1/2",3/4",1",1.5", 2"
閥門通徑22.8mm、33.4mm
流量系數(shù)1/2",3/4",1",1.5", 2"(5/14.5 / 21/46 / 52)
閥體材質(zhì)316L
波紋管材質(zhì)SUS316L
密封墊材質(zhì)PCTFE/Vespel?
內(nèi)部泄露率內(nèi)部≤ 1×10-9mbar·l/sec
外部泄露率外部≤ 1×10-9mbar·l/sec
適用溫度PCTFE 密封墊:-30℃ ~82℃
Vespel? 密封墊:-30℃ ~150℃
適用介質(zhì)大宗電子特氣、非腐蝕性氣體、超高純氣體

1.5”~2”手動式尺寸圖  


1/2”~1”手動式尺寸圖



產(chǎn)品特性

超高潔凈材料與工藝

材質(zhì)選擇:閥體采用 SUS316L 超低碳不銹鋼,符合 SEMI F-20 UHP(超高純)標(biāo)準(zhǔn),確保無金屬離子析出,適用于半導(dǎo)體、生物制藥等對純度要求極高的場景。

表面處理:流體接觸區(qū)域電拋光至 Ra≤0.25μm,顯著降低顆粒吸附風(fēng)險,并通過 Class 100 潔凈室組裝,避免二次污染。


卓越密封與泄漏控制

波紋管密封結(jié)構(gòu):采用金屬波紋管(如 Elgiloy? 或Hastelloy? C-276)替代傳統(tǒng)填料密封,實現(xiàn)零外漏,氦檢漏率≤ 1×10mbar·l/s(真空法),滿足嚴(yán)苛的真空系統(tǒng)需求。

雙重密封設(shè)計:結(jié)合 PCTFE 閥座與波紋管動態(tài)密封,耐化學(xué)腐蝕且適應(yīng) -50℃ ~150℃溫度波動。


耐腐蝕與長壽命

耐腐蝕材料:波紋管及閥內(nèi)件采用特種合金(如 Hastelloy? C-276),耐受強酸、強堿及 Cl環(huán)境,壽命可達 10 萬次以上循環(huán)。

無死角流道:全通徑設(shè)計,流道光滑無滯留區(qū),避免介質(zhì)殘留導(dǎo)致的交叉污染。


靈活適配與安全性

多接口標(biāo)準(zhǔn):支持 VCR、VCO、Swagelok 等高純接頭,適配 1/4" 至 2" 管路系統(tǒng)。

防爆與抗疲勞:波紋管柔性結(jié)構(gòu)可吸收熱膨脹與機械振動,降低應(yīng)力開裂風(fēng)險,適用于高頻開關(guān)場景。


嚴(yán)格質(zhì)量控制與認(rèn)證

檢測標(biāo)準(zhǔn):通過 SEMI、ASME BPE 認(rèn)證,提供材質(zhì)報告、氦檢漏證書及顆粒物檢測數(shù)據(jù)(如≤ 5 顆粒 / 立方英尺,≥ 0.1μm)。

包裝防護:雙層潔凈袋(內(nèi)層 2μm 尼龍 + 外層 6μm 聚乙烯)+ 氮氣填充,確保運輸中無污染


GF30低壓波紋管閥(手動)

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手動低壓波紋管閥

型號GF30低壓波紋管閥GFQ30 低壓波紋管閥
工作壓力
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驅(qū)動壓力60~100psig(4.1~6.9bar)N.C.
90~100psig(6.2~6.9bar)N.C.
規(guī)格1/2",3/4",1",1.5", 2"
閥門通徑22.8mm、33.4mm
流量系數(shù)1/2",3/4",1",1.5", 2"(5/14.5 / 21/46 / 52)
閥體材質(zhì)316L
波紋管材質(zhì)SUS316L
密封墊材質(zhì)PCTFE/Vespel?
內(nèi)部泄露率內(nèi)部≤ 1×10-9mbar·l/sec
外部泄露率外部≤ 1×10-9mbar·l/sec
適用溫度PCTFE 密封墊:-30℃ ~82℃
Vespel? 密封墊:-30℃ ~150℃
適用介質(zhì)大宗電子特氣、非腐蝕性氣體、超高純氣體

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超高潔凈材料與工藝

材質(zhì)選擇:閥體采用 SUS316L 超低碳不銹鋼,符合 SEMI F-20 UHP(超高純)標(biāo)準(zhǔn),確保無金屬離子析出,適用于半導(dǎo)體、生物制藥等對純度要求極高的場景。

表面處理:流體接觸區(qū)域電拋光至 Ra≤0.25μm,顯著降低顆粒吸附風(fēng)險,并通過 Class 100 潔凈室組裝,避免二次污染。


卓越密封與泄漏控制

波紋管密封結(jié)構(gòu):采用金屬波紋管(如 Elgiloy? 或Hastelloy? C-276)替代傳統(tǒng)填料密封,實現(xiàn)零外漏,氦檢漏率≤ 1×10mbar·l/s(真空法),滿足嚴(yán)苛的真空系統(tǒng)需求。

雙重密封設(shè)計:結(jié)合 PCTFE 閥座與波紋管動態(tài)密封,耐化學(xué)腐蝕且適應(yīng) -50℃ ~150℃溫度波動。


耐腐蝕與長壽命

耐腐蝕材料:波紋管及閥內(nèi)件采用特種合金(如 Hastelloy? C-276),耐受強酸、強堿及 Cl環(huán)境,壽命可達 10 萬次以上循環(huán)。

無死角流道:全通徑設(shè)計,流道光滑無滯留區(qū),避免介質(zhì)殘留導(dǎo)致的交叉污染。


靈活適配與安全性

多接口標(biāo)準(zhǔn):支持 VCR、VCO、Swagelok 等高純接頭,適配 1/4" 至 2" 管路系統(tǒng)。

防爆與抗疲勞:波紋管柔性結(jié)構(gòu)可吸收熱膨脹與機械振動,降低應(yīng)力開裂風(fēng)險,適用于高頻開關(guān)場景。


嚴(yán)格質(zhì)量控制與認(rèn)證

檢測標(biāo)準(zhǔn):通過 SEMI、ASME BPE 認(rèn)證,提供材質(zhì)報告、氦檢漏證書及顆粒物檢測數(shù)據(jù)(如≤ 5 顆粒 / 立方英尺,≥ 0.1μm)。

包裝防護:雙層潔凈袋(內(nèi)層 2μm 尼龍 + 外層 6μm 聚乙烯)+ 氮氣填充,確保運輸中無污染


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