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科哲GF06系列氣動低壓隔膜閥具有設計緊湊，擁有最小的死區空間等特點，可滿足不同產品需求。
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產品詳情
GF06系列氣動低壓隔膜閥
GF06系列氣動低壓隔膜閥（氣動結構圖）
尺寸
1/4”
3/8”
1/2” 3/4” 通徑尺寸
4.5 6.5 6.5 7 Cv 值
0.3 0.65 0.65 0.65 工作壓力
0~10bar
適用工作溫度
-10℃ ~+80℃
膜片材質
Elgiloy?/Hastelloy?C-276
密封墊材質 PCTFE
內漏值
≤ 1×10-9 mbar·l/s 外漏值 ≤ 1×10-9 mbar·l/s
氣動執行機構壓力
4~6bar
適用介質
電子特氣、腐蝕性氣體、非腐蝕性氣體、超高純氣體
產品特性
設計緊湊，擁有最小的死區空間 ;
主體材料符合 SEMIF-20:UHP( 超高純 ) 級半導體制造應用 316LSS 材料規范緊湊的體積設計同時能擁有大流量 ;
更小的顆粒物產生 ;
潔凈室中采用特殊的清潔工藝，將水分、氧氣和碳氫化合物的值降至最低 :特殊的電拋光工藝，流體區域的光潔度極佳 ;
Elgiloy? 隔膜材料具有很強的耐用性和耐腐蝕性，循環壽命長 ;8.PCTFE 閥座材料具有出色的耐化學性和耐熱性。
產品詳情GF06系列氣動低壓隔膜閥
GF06系列氣動低壓隔膜閥（氣動結構圖）
尺寸
1/4”
3/8”
1/2” 3/4” 通徑尺寸
4.5 6.5 6.5 7 Cv 值
0.3 0.65 0.65 0.65 工作壓力
0~10bar
適用工作溫度
-10℃ ~+80℃
膜片材質
Elgiloy?/Hastelloy?C-276
密封墊材質 PCTFE
內漏值
≤ 1×10-9 mbar·l/s 外漏值 ≤ 1×10-9 mbar·l/s
氣動執行機構壓力
4~6bar
適用介質
電子特氣、腐蝕性氣體、非腐蝕性氣體、超高純氣體
產品特性
設計緊湊，擁有最小的死區空間 ;
主體材料符合 SEMIF-20:UHP( 超高純 ) 級半導體制造應用 316LSS 材料規范緊湊的體積設計同時能擁有大流量 ;
更小的顆粒物產生 ;
潔凈室中采用特殊的清潔工藝，將水分、氧氣和碳氫化合物的值降至最低 :特殊的電拋光工藝，流體區域的光潔度極佳 ;
Elgiloy? 隔膜材料具有很強的耐用性和耐腐蝕性，循環壽命長 ;8.PCTFE 閥座材料具有出色的耐化學性和耐熱性。
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